国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院:这是北京高能同步辐射光源
2023-09-19 10:28来源:IT之家
9 月 18 日闪讯速报,近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学 EUV 项目把 ASML 的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。
对此,中国电子工程设计院有限公司(下称“中国电子院”)今日下午发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
据介绍,北京高能同步辐射光源项目坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国家“十三五”重大科技基础设施,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。该项目早在 2019 年就开始建设、将于 2025 年底投入使用。
HEPS 的作用是通过加速器将电子束加速到 6GeV,然后注入周长 1360 米的储存环,用接近光速的速度保持运转,电子束在储存环的不同位置通过弯转磁铁或者各种插入件时,就会沿着偏转轨道切线的方向释放出稳定、高能量、高亮度的光,也就是同步辐射光。
中国电子院表示,简单的说,HEPS 可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型 X 光机。它产生的小光束可以穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界,HEPS 是进行科学实验的大科学装置,并不是网传的光刻机工厂。
华夏快报注:中国电子工程设计院有限公司创建于 1953 年,曾先后隶属于电子工业部、信息产业部,2003 年由国务院国资委管理,2009 年并入国家开发投资集团有限公司。该院以设计为龙头,服务范围涵盖前期咨询、规划、环境和节能评价、工程设计、项目管理、工程监理、工程承包、工程检测评定等全过程。